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制藥用工業(yè)超純水機(jī)系統(tǒng)設(shè)備主要由制備單元和儲(chǔ)備與分配系統(tǒng)兩部分組成，制藥用蒸汽系統(tǒng)則主要由制備單元和分配系統(tǒng)兩部分組成，這兩部分系統(tǒng)是相似的。其中，制備單元主要包括軟化水機(jī)、純化水機(jī)、高純水機(jī)、蒸餾水機(jī)及純蒸汽發(fā)生器。